檢測(cè)設(shè)備

Taylor Hobson PGI Optics、Taylor Hobson CCI 2000

Zygo VeriFire PE、Zygo Newview 8200、日立 SU 1510掃描電子顯微鏡

有色金屬制造案例

基于鋁、銅等有色金屬材料，開展傳統(tǒng)光學(xué)元件，微結(jié)構(gòu)元件，自由曲面光學(xué)元件的高精度制造技術(shù)研究。

紅外光學(xué)元件制造案例

基于常用紅外材料，研究傳統(tǒng)光學(xué)元件的車削加工工藝，實(shí)現(xiàn)亞微米量級(jí)的面形精度和納米量級(jí)的表面粗糙度的制造技術(shù)。

光學(xué)塑料元件制造案例

基于TPX、PMMA等光學(xué)塑料，研究傳統(tǒng)光學(xué)元件、自由曲面光學(xué)元件的加工工藝，滿足太赫茲領(lǐng)域、可見光領(lǐng)域的系統(tǒng)要求。

微結(jié)構(gòu)光學(xué)、自由曲面光學(xué)等元件制造案例

Fly-cutting加工微米尺寸金屬材料金字塔結(jié)構(gòu)模具（SEM檢測(cè)結(jié)果）

另外還有針對(duì)不同材料，對(duì)離軸面，雙錐面，多項(xiàng)式面等自由曲面光學(xué)元件的制造技術(shù)進(jìn)行相應(yīng)研究。

鋁基，金字塔陣列，口徑12.7mm; 鋁基，離軸拋物面， Φ 50mm；異性拋物面鏡，Φ170mm；  純鋁，圓棒，L板Ra=30±3nm